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CMPW系列拋光液用深層過濾卷繞濾芯

CMPW系列濾芯采用卷繞結構設計,能夠對CMP的漿液精準過濾,攔截大顆粒,放行有效顆粒。由外到內的梯度結構,增加了納污空間,延長了濾芯的使用壽命。
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CMPW系列濾芯采用卷繞結構設計,能夠對CMP的漿液精準過濾,攔截大顆粒,放行有效顆粒。由外到內的梯度結構,增加了納污空間,延長了濾芯的使用壽命。


產品特性

低析出

全聚丙烯材料結構,采用熱熔焊接技術,不使用黏合劑,較少的溶出物,能夠有效控制溶出物析出

高納污量、壽命長

由外到內的梯度設計,避免了凝結的漿液過快堵塞濾膜表層,充分利用納污空間,具有高納污量和更長的使用壽命

有效過濾

獨特的卷繞設計,能夠實現對CMP的漿液精準過濾。攔截大顆粒,放行有效顆粒

防止纖維脫落

特有的網罩結構,防止了濾芯的纖維脫落


材質規格

濾材:PP

外殼/中心桿/端蓋:PP


濾芯性能

最高工作溫度:80℃       

最大工作壓差:4bar@21℃           

                        2.4bar@80℃



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